● 相關應用介紹
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半導體的製程從最前段的長晶、切片,到繁複的晶圓製造過程,無論是光罩、線路蝕刻或是化學機械研磨等,都需要大量的純水來洗淨。由於精度要求越來越嚴苛,其積體電路的線徑已進入奈米階段,因此對純水的純度要求也跟著提高。
目前十二吋晶圓廠對純水水質主要的要求如下:
 
   電阻值       >18.2MΩ-cm
   總有機碳    <0.5ppb
   二氧化矽    >0.1ppb
   金屬          <20ppt
   硼             <50ppt
   粒子          >0.05um
                   <0.2pcs/c.c.
 
純水系統的設計除了要達到水質要求以外,如何使系統長時間穩定的運轉、操作簡易,並達到省電、省水的要求,則是系統業者應該全盤考量的重點。
● 相關技術
2 ●一般過濾
●離子交換樹酯
●超過濾/逆滲透 
●脫氣膜/連續電解去離子
●紫外燈殺菌/分解
●化學加藥
● 相關產業
台積電十四廠, 台積電八廠, 日月光中壢廠, 矽品彰化廠, 矽品中山廠, 矽品大豐廠, 矽品蘇州廠, 矽品彰化廠C棟-PH2, 矽品大豐廠-B棟, 矽品彰化廠-PH4, 矽品彰化廠-PH3, 矽品中山廠-P11, 矽品彰化廠-PH2B, 矽品精密工業, 友達龍潭, 友達光電, 友達晶材, 勝華越南Q廠, 勝華越南S廠, 勝華中工廠, 勝華科技環中廠, 勝華科技, 東莞聯勝科技, 超豐一廠, 超豐電子, 超豐二廠, 茂迪科技五廠, 茂迪科技六廠, 蘇州茂迪新能源, 旺宏五廠, 錸德科技越南廠, 錸德科技一廠, 錸德科技, 昇陽國際, 世界先進二廠, 世界先進華邦廠, 世界先進, 元晶太陽能, 元晶, 恆勁科技湖口廠, 世禾六廠, 弘潔科技, 艾克爾-T3, 艾克爾-T1, 中砂竹北, 中砂湖口, PBE(德國), 隆達電子, 環鴻科技, 安可光電台中廠, 台日古河銅箔, 安可光電湖口廠, 長生能源, 臻鼎科技, 綠晶電子, 大豐能源, 昱成光能, 熒茂光學, 太陽光電, 東莞萬士達, 蘇州三星, 久元電子, 聯勝光電, 宇駿新能源, 辛耘晶技, 全懋精密科技竹科廠, 世紀晶源, 康可(無錫)電子, 上海Amkor, 台灣半導體, 弘榮光罩, 上海PITC, Bayer Polymers/上海, 默克光電液晶廠, 金敏精研二廠, 大祥科技, 富鼎光電, 默克光電, 悠景科技, 和鑫光電, 佳煜科技, 弘塑科技, 訊捷半導體, 悠立半導體, 利碟科技, 晶專科技, 金敏精研, 宏齊科技, 瑞鑫科技,